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本实用新型提出一种镀膜装置，包括：承载机构，用于承载工件，所述工件用于与所述工件镀膜用的靶材相邻设置；调速机构，连接所述承载机构，所述调速机构用于调整所述承载机构的自转速度；驱动机构，用于驱动所述调速机构调整所述承载机构的所述自转速度。本实...
该专利属于深圳市裕展精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市裕展精密科技有限公司授权不得商用。

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