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本申请实施例提供了一种微音叉谐振器振动敏感性片上测试结构和方法，涉及微机电传感器领域，所述方法包括：在微音叉谐振器件的两个子谐振器上添加独立的加力结构，通过微音叉谐振器件实际受力产生的加速度计算驱动电压，施加驱动电压在加力结构上产生与实际受...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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