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本发明提供了一种单晶炉检漏方法和检漏隔离器，涉及太阳能光伏技术领域，用于对单晶炉的副室进行检漏，包括关闭主室和副室之间连接的隔离阀，隔离主室和副室，调节副室的气压至第一预设真空度，提供检漏隔离器，利用检漏隔离器密封气压处于第一预设真空度的副...
该专利属于宁夏隆基硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏隆基硅材料有限公司授权不得商用。

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