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本发明公开了一种CVD金刚石散热片装置，包括金刚石散射片、水循环驱动装置、散射片水冷装置和金刚石散射片外框，所述金刚石散射片设于金刚石散射片外框内，所述散射片水冷装置固接设于金刚石散射片外框外表面，所述水循环驱动装置设于散射片水冷装置内，所...
该专利属于湖州中芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖州中芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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