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本实用新型公开一种正压保护阀，通过安装法兰安装在真空系统的腔室上，与腔室连通，包括阀体、密封机构及调节机构。其中，密封机构用于维持真空密封，包括密封端盖及密封圈；以及调节机构用于调节正压保护阀打开的临界气压，包括调节弹簧以及调节螺丝。包括调...
该专利属于埃频（上海）仪器科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃频（上海）仪器科技有限公司授权不得商用。

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