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一种可重复定位的扫描探针显微镜，包括镜体、步进器、预紧部件、扫描部件和样品台；该镜体包括三个相互平行的直线导向轨道，在其中两个直线导向轨道上置有步进器，该步进器被第三个直线导向轨道通过预紧部件压在上述的两个直线导向轨道上；该步进器包括一个支...
该专利属于中国计量大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学授权不得商用。

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