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氮化镓器件特性的调制方法和结构技术
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文档序号:28144371
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本发明涉及半导体技术领域,提供一种氮化镓器件特性的调制方法和结构。方法主要包括:对氮化镓器件施加外界电场,外界电场通过逆压电效应耦合作用于氮化镓器件;通过变化外界电场的强度和方向对氮化镓器件的特性进行调制。本发明可以根据氮化镓器件不同的应用...
该专利属于北京东方计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京东方计量测试研究所授权不得商用。
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