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本发明公开了一种金刚烷结构的光刻胶树脂单体，涉及光刻胶树脂领域。树脂单体的结构式如下所示：其中R1和R2各自独立的为1～10个碳原子的烷烃，且R1和R2可通过共价键结合形成环状结构；R3为氢或者甲基。该树脂单体含有金刚烷结构，具有优良的抗刻...
该专利属于上海博栋化学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海博栋化学科技有限公司授权不得商用。

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