下载发光二极管外延片及其制备方法的技术资料

文档序号:28140860

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本发明公开了发光二极管外延片及其制备方法,属于发光二极管制作领域。在第一n型GaN层上增加了SiO2调节层,SiO2调节层包括在第一n型GaN层的表面间隔分布的多个同心SiO2调节圆环,多个同心SiO2调节圆环的圆心为第一n型GaN层的表面...
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