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新型单晶炉制造技术
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文档序号:28137708
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本申请提供了一种新型单晶炉,其包括主炉室和副炉室,副炉室与主炉室连通,其中,该新型单晶炉还包括料室,料室上设置有加料口,料室通过加料口与主炉室连通。料室中设置有加料机构,加料机构可伸缩地穿设在加料口中,用于穿过加料口并向主炉室内的坩埚中加料...
该专利属于浙江晶科能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶科能源有限公司授权不得商用。
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