下载具有低门槛电压的SiC绝缘栅双极晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:28127008

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本发明公开了一种具有低门槛电压的SiC绝缘栅双极晶体管,包括第一外延层,第一外延层之下依次设置有第二、第三、第四外延层;第四外延层的凸台之间设置有集电区;第四外延层及集电区下表面共同设置有集电极PAD;第一外延层上部的平台周围套装有阱区,该...
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