下载基板搬运机器人以及靶体的边缘位置示教方法的技术资料

文档序号:28118227

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本发明的靶体的边缘位置示教方法包含:光电传感器的光轴向规定的初始位置移动,该规定的初始位置规定在比以主面成为水平的姿势设置的靶体的边缘靠外侧、且比靶体靠上方或下方的位置;直到由光电传感器检测到靶体的边缘位置,反复进行光轴的规定的前进循环;以...
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