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提供一种等离子处理系统的等离子室。等离子室限定等离子通道，该等离子通道具有沿等离子通道的长度相反设置的第一侧和第二侧。等离子室包括由介电材料构成的第一区段和第二区段，以及将第一区段和第二区段在第一区段的第一凸缘与第二区段的第三凸缘之间和在第...
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