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一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置制造方法及图纸
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下载一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置的技术资料
文档序号:27967447
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本新型涉及一种基于机器视觉的晶圆切割随动监控装置,包括承载机架、三维位移台、承载托盘、CCD摄像头、检测盘、激光灯及驱动电路,激光灯嵌于承载机架内,承载托盘下端面与三维位移台连接,检测盘嵌于承载托盘上端面并与承载托盘上端面同轴分布,CCD摄...
该专利属于河南通用智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南通用智能装备有限公司授权不得商用。
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