下载一种用于囚禁离子的小型真空装置和方法的技术资料

文档序号:27883289

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本申请公开了一种用于囚禁离子的小型真空装置和方法,所述小型真空装置包含泵组接口、馈电法兰、石英窗口、真空腔体;所述真空腔体包含顺序连接的第一腔体、第二腔体、第三腔体;所述泵组接口,用于连接真空泵组;所述馈电法兰位于所述真空腔体的两端,第一馈...
该专利属于北京无线电计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京无线电计量测试研究所授权不得商用。

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