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本发明公开了改善声表面波滤波器膜层界面结合强度的方法。具体而言，本发明描述了一种用于改善声表面波滤波器膜层界面结合强度的方法，所述方法包括：在压电材料基板表面进行激光微孔化处理，以在所述压电材料基板表面形成一系列盲孔；以及在经激光微孔化处理...
该专利属于广东广纳芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东广纳芯科技有限公司授权不得商用。

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