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本发明提供一种以一研磨液研磨一晶圆时固定前述晶圆的固定环。前述固定环包含一环状主体以及复数导引件。前述环状主体具有一外表面、一内表面以及一用于容纳前述晶圆的内部空间。前述环状主体包含复数通道，使前述研磨液由前述外表面流入前述内部空间。前述复...
该专利属于夏泰鑫半导体（青岛）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过夏泰鑫半导体（青岛）有限公司授权不得商用。

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