下载一种全自动硅料真空烘干机的技术资料

文档序号:27795303

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本实用新型公开了一种全自动硅料真空烘干机,该真空烘干机包括用于水浴浸泡硅料以提高硅料温度的硅料水浴箱、多个用于烘干水浴浸泡后的硅料的真空烘干装置和用于实现硅料在硅料水浴箱和真空烘干装置之间转移的机械臂输送装置。该真空烘干机将待烘干的硅料经水...
该专利属于华磊寰球工业装备(青岛)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华磊寰球工业装备(青岛)股份有限公司授权不得商用。

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