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本发明涉及一种在有机‑无机杂化光刻胶的薄膜形成工艺、显影工艺、剥离工艺中使用的有机‑无机杂化光刻胶工艺液体组合物及其处理方法。工艺液体组合物由：化学式1的化合物，以及酮类、酯类、醚类、添加剂或它们的混合物组成。工艺液体组合物不仅对有机物的处...
该专利属于荣昌化学制品株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过荣昌化学制品株式会社授权不得商用。

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