下载具有用于阶梯区的支撑结构和用于接触结构的间隔体结构的三维存储器件及其形成方法的技术资料

文档序号:27756402

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公开了3D存储器件及其形成方法的实施例。在示例中,一种3D存储器件包括存储堆叠体、半导体层、支撑结构、间隔体结构和接触结构。该存储堆叠体包括交替的导电层和电介质层并且在平面图中包括阶梯区。该半导体层与该存储堆叠体接触。支撑结构与存储堆叠体的...
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