下载一种基于膜结构的石墨烯高温压力传感器的技术资料

文档序号:27651634

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本发明属于高温压力测试技术领域,具体涉及一种基于膜结构的石墨烯高温压力传感器,包括封装外壳、上端盖、陶瓷基座、检测基片和互连组件,所述封装外壳的顶部设置有上端盖,所述封装外壳的内部设置有陶瓷基座,所述陶瓷基座中部开设有方形安装槽,所述检测基...
该专利属于中北大学南通智能光机电研究院;中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学南通智能光机电研究院;中北大学授权不得商用。

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