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本发明属于靶材制造技术领域，公开了一种掺杂的IGZO材料的制备方法。该制备方法，包括以下步骤：(1)向ZnO、In...
该专利属于中山智隆新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山智隆新材料科技有限公司授权不得商用。

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