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一种晶圆缺陷检测设备,包括:晶圆载台,用于固定待检测晶圆;浸润液体提供模块,用于提供浸润液体,以将晶圆载台上的待检测晶圆浸没在浸润液体中,所述浸润液体的折射率大于空气的折射率;图像获取模块,所述图像获取模块包括摄像头阵列,所述图像获取模块通...该专利属于上海果纳半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海果纳半导体技术有限公司授权不得商用。
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一种晶圆缺陷检测设备,包括:晶圆载台,用于固定待检测晶圆;浸润液体提供模块,用于提供浸润液体,以将晶圆载台上的待检测晶圆浸没在浸润液体中,所述浸润液体的折射率大于空气的折射率;图像获取模块,所述图像获取模块包括摄像头阵列,所述图像获取模块通...