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一种新型晶元体及其制备方法技术
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文档序号:27608831
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本发明公开了一种新型晶元体及其制备方法,包括衬底,所述衬底镜片包含有一定浓度的间隙氧原子,所述衬底内设置有至少两种薄膜,该薄膜形成于所述衬底的不同预设水平区域内,所述衬底相反的两个侧面为一基准面和一抛光面,所述基准面上设置有一覆盖层,所述覆...
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