下载一种硅片质量检测方法、分类方法的技术资料

文档序号:27576374

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本发明公开了一种硅片质量检测方法、分类方法,其中,硅片质量检测方法包括以下步骤:一、对硅片进行清洗,在清洗后的硅片双面形成钝化膜并进行烧结处理,得到半成品;二、对半成品进行第一次少子寿命测试和光致发光测试,得到第一少子寿命值为A1和第一光致...
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