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一种用于检测与晶片有关的电弧危害的方法、非暂态计算机可读介质和检测系统。所述检测系统可包括测量单元、电极和处理单元。所述测量单元可被配置为当所述晶片可相对于所述电极移动时，以及当特定电场可形成在所述电极与所述晶片之间时，通过在测试时段期间测...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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