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本实用新型公开了一种四自由度夹持装置，包括夹持结构、移动气缸、支撑板、提升气缸、旋转气缸以及夹持结构，支撑板安装于移动气缸并能随移动气缸在水平方向上移动，提升气缸安装于支撑板，旋转气缸安装于提升气缸并能随提升气缸在竖直方向上移动，夹持结构安...
该专利属于长园半导体设备（珠海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长园半导体设备（珠海）有限公司授权不得商用。

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