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本发明涉及一种用于决定在基板(26)上的层(6)的厚度和折射率的方法，层(6)具有面向基板(26)的层边界表面(30)以及背离基板(26)的层顶侧(28)。在所述方法中，实行以下步骤：沿光轴(8)由共聚焦显微镜将层(6)成像；决定在层边界表...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。

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