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本发明中包括：第１光路形成部件和第２光路形成部件，各自的入口侧配置在来自光源的光电子束的通路内；第１放置台，放置基板，绕垂直轴自由旋转，并且基板的周缘部位于来自第１光路形成部件的出口侧的光电子束照射区域；第２放置台，基板的周缘部位于来自第２...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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