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本实用新型提供一种铌酸锂晶片光刻甩胶真空吸头，其真空吸头为一体成型，包括：用于吸附晶片的一吸盘，该吸盘的大小形状与晶片适配，吸盘既可是圆形也可是矩形，其表面设有通孔和凹槽；所述吸盘下部设有与电机旋转轴连接的一轴颈，该轴颈与电机旋转轴的轴心连...
该专利属于深圳飞通光电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳飞通光电子技术有限公司授权不得商用。

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