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本发明提供了一种具有优良的灵敏度和分辨率，并且证明不生成浮渣的化学增强型正光刻胶组合物，该组合物包括具有衍生自羟基苯乙烯的聚合单元和衍生自（甲基）丙烯酸２－乙基－２－金刚烷基酯的聚合单元的树脂，该树脂本身不溶或难溶于碱中，但在通过酸的作用使...
该专利属于住友化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学工业株式会社授权不得商用。

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