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带自对准的掩膜板属于微细加工技术领域。本发明主要包括：玻璃基板、Ａｕ／Ｃｒ层、镀镍层和微孔，玻璃基板在最上层，中间为Ａｕ／Ｃｒ层，下层为镀镍层，玻璃基板、Ａｕ／Ｃｒ层、镀镍层之间通过胶联或键合连接，微孔在镀镍层上。本发明具有实质性特点和显著...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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