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晶圆检查设备制造技术
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文档序号:27486680
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一种晶圆检查设备,包括支撑结构,其包括框架和安装在框架上的真空吸盘,每一个真空吸盘具有包括真空抽吸部分的支撑表面,所述支撑结构被配置为在结构上支撑一个或多个真空吸盘上的晶圆,所述框架限定其面积大于晶圆的面积的开口。所述晶圆检查设备包括:电磁...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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