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一种制备具有提高的纯度和低多分散性的聚合物的无水、液相方法，包含聚合、纯化、酯交换、纯化、除去催化剂和溶剂交换的步骤。不需要额外的处理步骤，在溶液中合成的聚合物能直接用于制备光致抗蚀剂组合物。...
该专利属于纳幕尔杜邦公司所有，仅供学习研究参考，未经过纳幕尔杜邦公司授权不得商用。

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