下载同轴对准信号采集和处理控制方法及其关键子系统的技术资料

文档序号:2746905

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本发明公开了一种同轴对准信号采集和处理控制方法及其关键子系统,通过多个控制模块之间的协调,实现了脉冲激光产生与光强信号采集的同步控制;光强信号采集与位置信号采集的同步控制;对准信号处理与硅片台扫描运动的同步控制;对连续对准扫描机制的支持,其...
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