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本发明揭示了一种电镀设备，包括工艺腔体和工艺腔体内的两个电镀模块，所述电镀模块包括驱动马达、电镀腔、托盘、供液系统和排气系统，所述每个电镀模块的上方设有独立的风机过滤机组。本发明通过在两个电镀模块的上方分别设置独立的风机过滤组，保证了工艺腔...
该专利属于盛美半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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