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本发明公开了一种压印光刻，包括针和基板台，所述基板台配置成保持待压印的基板，其中针可在第一位置和第二位置之间移动，所述第一位置是在使用中所述针穿透基板上的可压印材料层的位置，所述第二位置是在使用中所述针从基板上的可压印材料层脱离的位置，所述...
该专利属于ＡＳＭＬ荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＡＳＭＬ荷兰有限公司授权不得商用。

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