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基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置制造方法及图纸
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下载基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置的技术资料
文档序号:27458687
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本发明提供了一种基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置,包括:装置底板、料盘单元、夹具单元、视觉监测单元、物料单元、探针单元、点胶单元和积分球,其中探针单元能够为激光器芯片上电发光,夹具单元会从所述料盘单元夹取反射镜并将反射镜运输至物...
该专利属于中南大学所有,仅供学习研究参考,未经过中南大学授权不得商用。
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