下载用于补偿不对称光瞳照明的滤光装置的技术资料

文档序号:2744976

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本发明涉及一种滤光装置(100),其用于包括光源的照明系统,特别是用于照明光瞳的照明的校正,照明系统被从光源传播到物平面的照明射线束穿过,该照明射线束射到包括至少一个滤光元件(105)的滤光装置(100)上,所述至少一个滤光元件可以被引入到...
该专利属于卡尔.蔡司SMT股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔.蔡司SMT股份公司授权不得商用。

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