下载一种硅片加工用石英舟的技术资料

文档序号:27435100

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本发明涉及硅片扩散技术领域,且公开了一种硅片加工用石英舟,包括挡板,所述挡板的数量为两个,两个所述挡板的外表面均固定安装有舟挑架,两个所述挡板内表面的顶部之间固定连接有上支撑杆,所述上支撑杆的顶面开设有大卡槽和小卡槽,两个所述挡板内表面的底...
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