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本发明是关于一种为使光罩保持洁净的系统，特别系指一种可长时间、且效果佳的光罩洁净度保持系统，其包含有至少一装置、至少一可选择性启闭的移转容器，其中移转容器可用于承载光罩，而装置可用于承载前述移转容器，且前述装置具有至少一充气单元与至少一排气...
该专利属于廖莉雯所有，仅供学习研究参考，未经过廖莉雯授权不得商用。

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