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本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，包括第一气体支路与第二气体支路，所述第一气体支路的内部包含有第一气体浮子流量计、第一气体质量流量计与第一气动波纹阀，所述第二气体支路的内...
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