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本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种腔体密封连接结构、镀膜生产线及腔体组装方法。其中，所述腔体密封连接结构，包括第一对接法兰、第二对接法兰、密封圈和压条，第一对接法兰和第二对接法兰分别设置在两个腔室腔室相对的一端，一个腔室的第一对接法兰...
该专利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集萃有机光电技术研究所有限公司授权不得商用。

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