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一种静电驱动的可调谐微型光学器件，包括光栅固定端（１）、可调谐光栅主体（２）、光栅滑动端（３），光栅主体（２）的两端分别与光栅固定端（１）的一端及光栅滑动端（３）的一端相连接，其特征在于还包括有：连接结构（４）和（５）、主驱动悬臂梁（６）、...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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一种静电驱动的可调谐微型光学器件，包括光栅固定端（１）、可调谐光栅主体（２）、光栅滑动端（３），光栅主体（２）的两端分别与光栅固定端（１）的一端及光栅滑动端（３）的一端相连接，其特征在于还包括有：连接结构（４）和（５）、主驱动悬臂梁（６）、...