下载一种用于生产硅氧负极材料基于CVD工艺的加工设备的技术资料

文档序号:27248315

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本发明公开了一种用于生产硅氧负极材料基于CVD工艺的加工设备及基设备的加工工艺,其结构包括加热结构,所述加热结构包括加热室、燃气燃烧嘴、加热驱动马达、加热旋转框和辅热板,所述加热结构侧壁安装有自动供料机,所述加热结构远离自动供料机的一侧安装...
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