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本发明涉及扫描检测技术领域，具体而言，涉及一种内嵌式观测窗。内嵌式观测窗包括底座、上壳体和主视窗；所述上壳体和所述主视窗均设置在所述底座上，且所述底座、所述上壳体和所述主视窗共同构成作业空间；所述上壳体相对所述底座固定；所述主视窗打开的方式...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。