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一种基板插取机,可自动地将一仓匣中的基板取出或插入,包含有一机台,一升降机构设于该机台上且供该仓匣置放,用以驱动该仓匣上下升降,一呈长形板状的悬臂,以及一移位机构设于该机台上且供该悬臂接设,用以驱动该悬臂前后移动;当该悬臂向前移动时可伸入该...该专利属于群录自动化工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过群录自动化工业股份有限公司授权不得商用。
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一种基板插取机,可自动地将一仓匣中的基板取出或插入,包含有一机台,一升降机构设于该机台上且供该仓匣置放,用以驱动该仓匣上下升降,一呈长形板状的悬臂,以及一移位机构设于该机台上且供该悬臂接设,用以驱动该悬臂前后移动;当该悬臂向前移动时可伸入该...