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根据本发明的示例性方面，提供了一种装置。该装置包括：微机电MEMS电容器，该MEMS电容器包括两个板和位于两个板之间的间隙；气体输送器，该气体输送器被配置成使气体流过该间隙；以及读出电路，该读出电路被配置为测量MEMS电容器的电容。MEMS...
该专利属于芬兰国家技术研究中心股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过芬兰国家技术研究中心股份公司授权不得商用。

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