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2D及3D量测装置制造方法及图纸
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下载2D及3D量测装置的技术资料
文档序号:27214592
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本发明的2D及3D量测装置包括一承载部、一座体部、一连结部、一3D光学轮廓仪、一2D显微镜及一可程序化逻辑控制器。其中,承载部包括至少一第一滑轨及一第一驱动马达。座体部以可滑动的方式设置于第一滑轨,座体部包括至少一第二滑轨。连结部以可滑动的...
该专利属于晟耀光电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晟耀光电科技股份有限公司授权不得商用。
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