下载一种晶体生长炉及坩埚盖板的技术资料

文档序号:27213617

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本实用新型公开了一种晶体生长炉及其使用的坩埚盖板,晶体生长炉用于泡生法生长晶体,包括:具有开口的坩埚、围绕坩埚设置的加热器、坩埚上方的保温层,具有中心孔的坩埚盖板盖在坩埚的开口上,坩埚盖板的中心孔从中心延孔径方向逐步变小,在生长晶体的过程中...
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